Precision cross table with cleanroom energy chain

Náš přesný křížový stůl LMSSA se používá k optické kontrole waferů v polovodičovém průmyslu. Zvláštností je vedení energie kompatibilní s čistým prostorem, které zajišťuje tichý provoz prakticky bez kontaminace částicemi.

Dodávaný přesný křížový stůl LMSSA, který nabízíme jako standardizovaný systém v našem produktovém portfoliu, je založen na našich přesných osách LMSSA. Nejdůležitější součástí a požadavkem na individualizaci byl speciální požadavek na odolnost vůči částicím pro použití v aplikacích kompatibilních s čistými prostory. Proto byl použit plochý systém vedení kabelů z vysoce výkonného plastu, který nevykazuje žádné viditelné opotřebení a je odolný proti oděru. Otevíratelné komorové systémy umožňují snadnou výměnu nebo přidání flexibilních kabelových prvků – s konektory, nosnými řetězy nebo hadicemi nebo bez nich.

Naše přesné systémy – standardizované systémy, které lze snadno přizpůsobit specifickým aplikacím zákazníka.