Námi dodávaný přesný křížový stůl LMX se používá k simultánní inspekci křemíkových waferů.
Individuálně přizpůsobený křížový stůl s ultra plochou otočnou osou ve směru X a Y polohuje s přesností na µm a pracuje extrémně rychle se zrychlením 1 g. Na žulovém podstavci se naše lineární vedení, lineární motor a otočný stůl spojují do pohybové jednotky, která díky minimální výšce a zároveň maximálnímu dutému hřídeli zvládá jak jednoduché manipulační úlohy, tak vysoce přesné polohovací úlohy.
Standardizované hnací komponenty se jako stavebnice stávají přesnými systémy přizpůsobenými potřebám zákazníků. K dispozici je řada vyspělých standardizovaných systémů, které lze díky své modulární konstrukci přesně přizpůsobit individuálním potřebám. Naši odborníci společně s vámi vytvoří vhodnou koncepci pro váš přesný systém. Informujte se hned zde podrobně o našich přesných osách a přesných systémech.
Požadavky:
- Pohyby s přesností na µm
- Extrémně vysoké zrychlení
- Vysoká přesnost a opakovatelná přesnost
Komponenty HIWIN:
Oblasti použití: